碳化硅悬臂桨,是半导体晶圆装载系统的关键部件。光伏新能源行业用的碳化硅桨,应用在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的(扩散)涂层过程中,对硅片在高温环境中(1000---1300℃)的承载输送作用;碳化硅悬臂桨性能稳定,在高温环境下不变形,晶圆装载力大,适用于机器人自动装载和搬运系统。今天小编主要跟大家分享碳化硅悬臂桨的质检参数都包含哪些项目:
项目 Item单位 Unit指标 Data
使用温度℃1380
密度g/cm3≥3.02
抗弯强度Mpa250(20℃)
Mpa280(1200℃)
弹性模量Gpa330 (20℃)
Gpa300 (1200℃)
导热系数w/m.k45 (1200℃)
热膨胀系数k-1*10-64.5
模式硬度9.2
气孔率%<0.1
端变形量
裂纹
针孔
残缺,掉块
总长度
分段尺寸
方管
桨壁厚
桨截面
背平面度
铲平面度
平行度
平行度
负载
800度下30分钟热负载实验
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标题:碳化硅悬臂桨的质检参数有哪些? 地址:http://www.tanhuaguichanpin.cn/zixun/314.html
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