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碳化硅悬臂桨的质检参数有哪些?

发布时间::2021-03-14   编辑作者:admin   阅读:474
[导读]:碳化硅悬臂桨是用于半导体行业,其要求相对严一些,本文主要是分享碳化硅悬臂桨的质检参数项目都有哪些?...

   碳化硅悬臂桨,是半导体晶圆装载系统的关键部件。光伏新能源行业用的碳化硅桨,应用在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的(扩散)涂层过程中,对硅片在高温环境中(1000---1300℃)的承载输送作用;碳化硅悬臂桨性能稳定,在高温环境下不变形,晶圆装载力大,适用于机器人自动装载和搬运系统。今天小编主要跟大家分享碳化硅悬臂桨的质检参数都包含哪些项目:

  项目 Item单位 Unit指标 Data

  使用温度℃1380

  密度g/cm3≥3.02

  抗弯强度Mpa250(20℃)

  Mpa280(1200℃)

  弹性模量Gpa330 (20℃)

  Gpa300 (1200℃)

  导热系数w/m.k45 (1200℃)

  热膨胀系数k-1*10-64.5

  模式硬度9.2

  气孔率%<0.1

  端变形量

  裂纹

  针孔

  残缺,掉块

  总长度

  分段尺寸

  方管

  桨壁厚

  桨截面

  背平面度

  铲平面度

  平行度

  平行度

  负载

  800度下30分钟热负载实验

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标题:碳化硅悬臂桨的质检参数有哪些?     地址:http://www.tanhuaguichanpin.cn/zixun/314.html
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