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碳化硅悬臂桨的设计特点有哪些?

发布时间::2021-03-05   编辑作者:admin   阅读:467
[导读]:碳化硅悬臂浆,是半导体晶圆装载系统的关键部件,那么它有什么设计特点呢?今天小编跟大家一起分享...

  碳化硅悬臂浆,是半导体晶圆装载系统的关键部件。光伏新能源行业以前用的碳化硅悬臂桨主要规格2378毫米,2550毫米,2660毫米等,现在随着发展,现在多用到3500毫米、3750毫米等,既然这样今天小编主要跟大家分享碳化硅悬臂桨的设计特点:

碳化硅悬臂浆

  1、碳化硅悬臂桨是由细颗粒α-SiC和添加剂压制成素坯,在高温下与液态硅接触,坯体中的碳与渗入的Si反应,生成β-SiC,并与α-SiC相结合,游离硅填充了气孔,从而得到高致密性的陶瓷材料;具备工业陶瓷的各种优越性能。其可以在中等浓度的酸或碱介质中使用;

  2、碳化硅悬臂桨需要在高温环境下不变形,因为晶片装载力大;

  3、晶硅硅片或单晶硅硅片的(扩散)涂层过程中,对硅片在高温环境中(1000---1300℃)的承载输送作用,因此耐极冷急热,使用寿命长;

  4、碳化硅悬臂桨热膨胀系数极小,极大地延长了维护清洗的周期;

  5、碳化硅悬臂桨大幅减少污染物;

  6、碳化硅悬臂桨性能稳定,在高温环境下不变形,晶圆加载力大,适用于机器人自动加载和搬运系统;

  综上所述碳化硅悬臂桨性能稳定,在高温环境下不变形,晶圆装载力大,适用于机器人自动装载和搬运系统。由于碳化硅悬臂桨截面稳定不变形,使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。悬臂浆与LPCVD涂层的热膨胀系数相近,应用于LPCVD,极大地延长了维护清洗的周期,并大幅减少污染物;

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