光伏行业多晶硅sic碳化硅悬臂桨一直以来都是国内碳化硅生产厂家很难克服的课题,反应烧结碳化硅悬臂浆,是半导体晶圆装载系统的关键部件;光伏新能源行业用的碳化硅桨,主要规格2378毫米,2550毫米,2660毫米等,那么什么是悬臂桨,他的主要作用又有哪些呢?
一、什么是悬臂桨
悬臂桨也叫悬臂梁,因为悬臂梁包括单悬臂桨和双悬臂桨;悬臂梁:梁刀的一端是不产生轴向和垂直位移和旋转的固定支撑,另一端是自由端(可以产生平行和垂直于轴向的力,所以理解单悬臂梁很简单,单悬臂梁是一个简单支撑梁的一端从支点伸出支撑孔吊梁的系统;双悬臂梁是简支梁两端从支点延伸形成两个悬臂梁的系统;另外悬臂梁是一端没有支座,另一端嵌固的梁,这里所谓嵌固,是指计算平面内不可上下左右移动且不可转动的支座,在11G101构造详图里,分为纯悬臂梁和外伸悬臂梁
碳化硅悬臂桨,是半导体晶圆装载系统的关键部件。KCE?系列反应烧结碳化硅悬臂桨性能稳定,在高温环境不变形,晶圆装载量大,适用于机器人自动装载和搬运系统,且其截面稳定不变形,使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能,加之与LPCVD涂层的热膨胀系数相近,应用于LPCVD,可极大地延长维护清洗周期,并大幅减少污染物
二、碳化硅悬臂桨有哪些作用
1、碳化硅悬臂桨应用于在太阳能行业或电子行业中,在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的(扩散)涂层过程中,对硅片在高温环境中(1000---1300℃)的承载输送作用
2、碳化硅悬臂浆用于光伏行业的单晶硅、多晶硅涂层高温炉,可耐高温、耐腐蚀
3、碳化硅悬臂桨还可用于送载有硅片的硅周或石英舟进入涂层扩散炉炉管内
4、碳化硅悬臂浆长长度从1500mm到3000mm,亦可依客户规格定制,主要用于光伏行业
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